技术参数
产品名称
结构式
吸收波长
特性
应用
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TR-B601
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重均分子量：8000-15000
分子量分布：＜1.8
水分：＜0.5%
残留单体：＜1.0%
单个金属离子：＜50ppb
组成：HS=60-70%,ST=10-25%
TBA=5-20%
KrF光刻胶聚合物PHS树脂
